1、檢查轉(zhuǎn)子流量計顯示儀表:該顯示儀表可以單獨(dú)測試,設(shè)置和流量檢測可以短路,并且可以調(diào)節(jié)設(shè)置旋鈕以觀察其是否跳動。
2、檢查流量計:如果可以消除指示器的問題,則可能是實際的流量控制不穩(wěn)定或流量控制器出現(xiàn)故障。有必要消除周圍的干擾:
?。?)可能是接地干擾,請檢查接地系統(tǒng),注意接地;
?。?)可能是氣源壓力太低或不穩(wěn)定,需要增加氣源壓力。穩(wěn)定氣壓。
?。?)可能是空間干擾。使用適當(dāng)?shù)钠帘?,遠(yuǎn)離干擾源,并選擇屏蔽線。
(4)可能是由于氣體性質(zhì)不同,在使用氮?dú)庑?zhǔn)分子量相同的氣體時,也可能發(fā)生控制不穩(wěn)定性。
?。?)可能是污染,如果氣源有灰塵,容易液化等,則應(yīng)在通道前安裝過濾器。
(6)可能是通道的內(nèi)阻氣源太大,需要降低氣源的內(nèi)阻流量大時,要注意打開大的閥門,加厚管道,甚至并聯(lián)氣瓶,以提高氣源的供氣能力氣。它們被適當(dāng)加熱。如果使用硅烷等特殊氣體,請注意管道的密封性和氣源的干燥度。
?。?)轉(zhuǎn)子流量計回路或調(diào)節(jié)閥可能有故障,需要將其送回工廠進(jìn)行維修。