1、檢查轉(zhuǎn)子流量計(jì)顯示儀表:該顯示儀表可以單獨(dú)測(cè)試,設(shè)置和流量檢測(cè)可以短路,并且可以調(diào)節(jié)設(shè)置旋鈕以觀察其是否跳動(dòng)。
2、檢查流量計(jì):如果可以消除指示器的問(wèn)題,則可能是實(shí)際的流量控制不穩(wěn)定或流量控制器出現(xiàn)故障。有必要消除周?chē)母蓴_:

(1)可能是接地干擾,請(qǐng)檢查接地系統(tǒng),注意接地;
(2)可能是氣源壓力太低或不穩(wěn)定,需要增加氣源壓力。穩(wěn)定氣壓。
(3)可能是空間干擾。使用適當(dāng)?shù)钠帘?,遠(yuǎn)離干擾源,并選擇屏蔽線。
?。?)可能是由于氣體性質(zhì)不同,在使用氮?dú)庑?zhǔn)分子量相同的氣體時(shí),也可能發(fā)生控制不穩(wěn)定性。
?。?)可能是污染,如果氣源有灰塵,容易液化等,則應(yīng)在通道前安裝過(guò)濾器。
?。?)可能是通道的內(nèi)阻氣源太大,需要降低氣源的內(nèi)阻流量大時(shí),要注意打開(kāi)大的閥門(mén),加厚管道,甚至并聯(lián)氣瓶,以提高氣源的供氣能力氣。它們被適當(dāng)加熱。如果使用硅烷等特殊氣體,請(qǐng)注意管道的密封性和氣源的干燥度。
?。?)轉(zhuǎn)子流量計(jì)回路或調(diào)節(jié)閥可能有故障,需要將其送回工廠進(jìn)行維修。